光罩種類、相位移光罩、光罩廠排名在PTT/mobile01評價與討論，在ptt社群跟網路上大家這樣說

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光罩（英語：Reticle, Mask）：在製作積體電路的過程中，利用光蝕刻技術，在半導體上形成圖型，為將圖型複製於晶圓上，必須透過光罩作用的原理。

光罩是在積體電路，如LSI，的製造過程中使用的必要基本設備。它是一片透明的石英玻璃，其主要用途在於將積體電路之各種電路設計圖形轉化為晶圓製造廠大量生產所 ...

此與照相原理相同；如同利用底片能夠洗出數千張之照片，利用光罩能夠在眾多的wafer上輸寫出半導體迴路。像底片的種類及品質會左右照片的品質般，光罩的品質也會左右半導體 ...

光罩的原理區分為兩個領域：. 1.光罩的圖像可供轉印至 ... 光罩的圖像轉印至晶片表面。 ... 氟化氨( NH4F ). 氫氟酸( HF ). 二氧化矽. ( SiO2 ). 蝕刻劑種類. 材料種類 ...

i-line 曝光機曝光驗證，比較實驗製作之衰減式相位移光罩與二元式鉻膜 ... 種類. 別稱. 效果. 可引用之處. 交替式相位移光罩. Alternating PSM. Alt-PSM. Levenson PSM.

光罩技術更是微影成像中不可或缺的重 ... 相轉移光罩的概論及原理、製程技術及 ... 種類. 在文獻(2)中，常. 見的相轉移光罩有很. 多種，如表一。 1.Levenson Type.

生產晶片的模具稱為光罩。當IC設計公司設計出一款晶片電路圖之後，光罩公司製作成光罩，再送至晶圓代工廠進行晶圓代工，封裝、測試後，便成為一顆顆的IC晶片。

此與照相原理相同；如同利用底片能夠洗出數千張之照片，利用光罩能夠在眾多的wafer上輸寫出半導體迴路。像底片的種類及品質會左右照片的品質般，光罩的 ...

曝光的種類有: 接觸式(contact printing) ... 入射紫外光. 光罩. 實際入射強度分佈. 理想入射強度分佈. 晶片. 光阻 ... 若光阻與光罩的間距10µm，入射光的波長.

基板種類: 常用光罩基板是合成石英及青板玻璃，主要差異是可達穿透率的最低紫外光波長，熱膨脹係數 (TCE thermal coefficient of expansion)以及氣泡要求。